Markmiðið er með breiðan markað, notkunarsvæði og mikla þróun í framtíðinni.Til að hjálpa þér að skilja markaðgerðirnar betur mun RSM verkfræðingurinn hér að neðan kynna stuttlega helstu virknikröfur markmiðsins.
Hreinleiki: Hreinleiki er einn af helstu hagnýtum vísbendingum um markið, vegna þess að hreinleiki marksins hefur mikil áhrif á virkni kvikmyndarinnar.Hins vegar, í hagnýtri notkun, eru hreinleikakröfur markmiðsins einnig mismunandi.Til dæmis, með hraðri þróun smárafeindaiðnaðarins, er stærð kísilskúffunnar stækkuð úr 6 "í 8" í 12 ", og raflögnin er minnkað úr 0,5um í 0,25um, 0,18um eða jafnvel 0,13um.Áður getur 99,995% af hreinleika marksins uppfyllt vinnslukröfur 0,35umic, en undirbúningur 0,18um línur krefst 99,999% eða jafnvel 99,9999% af markhreinleika.
Innihald óhreininda: óhreinindi í föstu efni og súrefni og vatnsgufa í svitaholum eru helstu mengunaruppsprettur útfelldra filma.Markmið í mismunandi tilgangi hafa mismunandi kröfur um mismunandi óhreinindi.Til dæmis hafa hrein ál- og álmarkmið sem notuð eru í hálfleiðaraiðnaði sérstakar kröfur um innihald alkalímálms og innihald geislavirkra frumefna.
Þéttleiki: Til þess að draga úr svitaholum í fast efni marksins og bæta virkni sputtering filmu, þarf markið venjulega að hafa mikinn þéttleika.Þéttleiki marksins hefur ekki aðeins áhrif á sputtering hraða, heldur hefur einnig áhrif á raf- og sjónvirkni kvikmyndarinnar.Því hærra sem markþéttleiki er, því betri virkni filmunnar.Að auki er þéttleiki og styrkur skotmarksins bættur þannig að markið geti betur sætt sig við hitauppstreymi í sputterferlinu.Þéttleiki er einnig einn af lykilvirkum vísbendingum um markmiðið.
Birtingartími: 20. maí 2022