Margir notendur hljóta að hafa heyrt um afurð sputtering targets, en meginreglan um sputtering target ætti að vera tiltölulega ókunnug.Nú, ritstjóriRíkt sérstakt efni (RSM) deilir meginreglum segulrónasputteringarinnar um sputtering target.
Rétthyrndu segulsviði og rafsviði er bætt á milli sputtered target rafskautsins (bakskautsins) og rafskautsins, nauðsynlega óvirka gasið (almennt Ar gas) er fyllt í hálofttæmishólfið, varanlegi segullinn myndar 250 ~ 350 Gauss segulsvið á yfirborð markgagnanna og hornrétt rafsegulsvið myndast með háspennu rafsviðinu.
Undir áhrifum rafsviðs er Ar gas jónað í jákvæðar jónir og rafeindir.Ákveðin neikvæð háspenna bætist við markið.Áhrif segulsviðs á rafeindir sem sendar eru frá markpólnum og jónunarlíkur á vinnugasi aukast og mynda háþéttniplasma nálægt bakskautinu.Undir áhrifum Lorentz kraftsins flýta Ar jónir að yfirborði marksins og sprengja markyfirborðið á mjög miklum hraða, sputtered atómin á skotmarkinu fylgja skriðþungabreytingarreglunni og fljúga frá markyfirborðinu til undirlagsins með mikilli hreyfiorku að leggja inn kvikmyndir.
Magnetron sputtering er almennt skipt í tvær gerðir: þverár sputtering og RF sputtering.Meginreglan um þverúðunarbúnað er einföld og hraði hans er einnig hröð þegar málm er sputterað.RF sputtering er mikið notað.Auk þess að sputtera leiðandi efni getur það einnig sputterað óleiðandi efni.Á sama tíma framkvæmir það einnig hvarfgjarna sputtering til að undirbúa efni úr oxíðum, nítríðum, karbíðum og öðrum efnasamböndum.Ef RF tíðnin er aukin mun hún verða að örbylgjuplasma sputtering.Nú er rafeindasýklótron resonance (ECR) örbylgjuplasma sputtering almennt notuð.
Birtingartími: 31. maí-2022