Tómarúmhúð vísar til upphitunar og uppgufunar uppgufunargjafans í lofttæmi eða sputtering með hröðun jónasprengjuárásar og setja það á yfirborð undirlagsins til að mynda eins lags eða margra laga filmu.Hver er meginreglan um tómarúmhúð?Næst mun ritstjóri RSM kynna það fyrir okkur.
1. Tómarúm uppgufunarhúð
Uppgufunarhúð krefst þess að fjarlægðin milli gufusameindanna eða atómanna frá uppgufunargjafanum og undirlagsins sem á að húða ætti að vera minni en meðal frjáls leið gassameindanna sem eftir eru í húðunarherberginu, til að tryggja að gufusameindir uppgufun getur náð yfirborði undirlagsins án áreksturs.Gakktu úr skugga um að filman sé hrein og þétt og uppgufunin oxast ekki.
2. Vacuum sputtering húðun
Í lofttæmi, þegar hröðuðu jónirnar rekast á fast efni annars vegar skemmast kristallinn, hins vegar rekast þeir á frumeindir sem mynda kristallinn og loks frumeindir eða sameindir á yfirborði hins fasta efnis. spretta út á við.Sputtered efni er húðað á undirlagið til að mynda þunnt filmu, sem kallast tómarúm sputter plating.Það eru margar sputteringaraðferðir, þar á meðal er díóða sputtering sú elsta.Samkvæmt mismunandi bakskautsmarkmiðum er hægt að skipta því í jafnstraum (DC) og hátíðni (RF).Fjöldi atóma sem sprottið er með því að hafa högg á yfirborði marksins með jóni er kallað sputtering rate.Með háum sputtering hraða er filmumyndunarhraði hratt.Sputtering hlutfall er tengt orku og gerð jóna og gerð markefnis.Almennt séð eykst sputtering hraði með aukningu mannlegrar jónaorku og sputtering hraði góðmálma er hærri.
Birtingartími: 14. júlí 2022