Markefnið sem notað er í gagnageymsluiðnaðinum krefst mikils hreinleika og óhreinindi og svitahola verður að lágmarka til að forðast myndun óhreinindaagna við sputtering.Markefnið sem notað er fyrir hágæða vörur krefst þess að kristalagnastærð þess verði að vera lítil og einsleit og hafa enga kristalstefnu.Hér að neðan skulum við kíkja á kröfur sjóngeymsluiðnaðarins fyrir markefnið?
1. Hreinleiki
Í hagnýtri notkun er hreinleiki markefna mismunandi eftir mismunandi atvinnugreinum og kröfum.Hins vegar, þegar á heildina er litið, því meiri hreinleiki markefnisins er, því betri árangur sputtered filmunnar.Til dæmis, í sjóngeymsluiðnaði, þarf að hreinleiki markefnisins sé meiri en 3N5 eða 4N
2. Innihald óhreininda
Markefnið þjónar sem bakskautsgjafi í sputtering og óhreinindi í föstu efninu og súrefni og vatnsgufa í svitaholunum eru helstu mengunarvaldar til að setja þunnt filmur.Þar að auki eru sérstakar kröfur um skotmörk með mismunandi notkun.Ef þú tekur ljósgeymsluiðnaðinn sem dæmi, þá verður að stjórna óhreinindainnihaldi í sputtering-markmiðum mjög lágt til að tryggja gæði lagsins.
3. Kornastærð og stærðardreifing
Venjulega hefur markefnið fjölkristallaða uppbyggingu, með kornastærðir allt frá míkrómetrum til millimetra.Fyrir skotmark með sömu samsetningu er sputtering hraði fínkorna marka hraðar en grófkorna marka.Fyrir skotmörk með minni kornastærðarmun mun þykkt filmunnar einnig vera einsleitari.
4. Þéttleiki
Til þess að draga úr porosity í föstu markefninu og bæta filmuafköst, er almennt krafist að sputtering markefnið hafi mikinn þéttleika.Þéttleiki markefnisins fer aðallega eftir undirbúningsferlinu.Markefnið sem framleitt er með bræðslu- og steypuaðferð getur tryggt að engar svitaholur séu inni í markefninu og þéttleiki er mjög hár.
Birtingartími: 18. júlí 2023