Margir vinir um viðhald miða það eru meira eða minna spurningar, nýlega eru líka margir viðskiptavinir að ráðfæra sig um viðhald á miða tengdum vandamálum, láttu ritstjóra RSM fyrir okkur að deila um sputtering miða viðhald þekkingu.
Hvernig ætti að viðhalda sputter-markmiðum?
1、 Markmið viðhald
Til að koma í veg fyrir skammhlaup og ljósboga af völdum óhreins holrúms í sputtering ferlinu, er nauðsynlegt að fjarlægja sputters sem safnast fyrir í miðju og báðum hliðum sputtering lagsins reglulega, sem hjálpar notendum að sputtera stöðugt við háan aflþéttleika.
2、 Markgeymsla
Við mælum með því að notendur geymi skotmarkið (hvort sem það er málmur eða keramik) í lofttæmum umbúðum, sérstaklega þarf að geyma festingarmiðið í lofttæmi til að koma í veg fyrir að oxun lagsins hafi áhrif á festingargæði.Hvað varðar umbúðir málmmarkmiða leggjum við til að þeim sé pakkað í hreina plastpoka að minnsta kosti.
3、 Markþrif
Fyrsta skrefið er að þrífa með lólausum mjúkum klút vættum í asetoni;
Annað skrefið er svipað og fyrsta skrefið, hreinsun með áfengi;
Skref 3: hreinsaðu með afjónuðu vatni.Eftir hreinsun með afjónuðu vatni er skotmarkið sett í ofninn og þurrkað við 100 ℃ í 30 mínútur.Mælt er með því að nota „lólausan klút“ til að hreinsa oxíð- og keramikmarkmið.
Fjórða skrefið er að þvo skotmarkið með argon með háum þrýstingi og lágum raka til að fjarlægja allar óhreinar agnir sem geta valdið ljósboga í sputtering kerfinu.
4、 Skammhlaup og þéttleikaathugun
Eftir að skotmarkið er sett upp þarf að athuga allt bakskautið fyrir skammhlaup og þéttleika.Mælt er með því að meta hvort skammhlaup sé í bakskautinu með því að nota viðnámsmæli og megger.Eftir að hafa staðfest að engin skammhlaup sé í bakskautinu er hægt að framkvæma vatnslekaskoðun og setja vatn inn í bakskautið til að ákvarða hvort vatnsleka sé til staðar.
5、 Pökkun og flutningur
Öllum skotmörkum er pakkað í lofttæmda plastpoka með rakaþéttu efni.Ytri pakkinn er almennt trékassi með áreksturslagi í kring til að vernda skotmarkið og bakplanið gegn skemmdum við flutning og geymslu.
Birtingartími: 15. júlí 2022