Sputtered mólýbden markmið hafa verið mikið notuð í rafeindaiðnaði, sólarsellum, glerhúð og öðrum sviðum vegna eðlislægra kosta þeirra.Með hraðri þróun nútímatækni í smæðingu, samþættingu, stafrænni og upplýsingaöflun mun notkun mólýbdenmarkmiða halda áfram að aukast og gæðakröfur til þeirra verða einnig sífellt hærri.Við þurfum því að finna leiðir til að bæta nýtingarhlutfall mólýbdenmarkmiða.Nú mun ritstjóri RSM kynna nokkrar aðferðir til að bæta nýtingarhraða sputtering mólýbdenmarkmiða fyrir alla
1. Bættu við rafsegulspólu á bakhliðinni
Til að bæta nýtingarhraða sputtered mólýbdenmarkmiðsins er hægt að bæta við rafsegulspólu á bakhlið plana Magnetron sputtering mólýbdenmarkmiðsins og auka segulsviðið á yfirborði mólýbdenmarkmiðsins með því að auka strauminn á rafsegulspóluna, til að bæta nýtingarhlutfall mólýbdenmarkmiðsins.
2. Veldu pípulaga snúningsmarkefni
Samanborið við flöt skotmörk, að velja pípulaga snúningsmarksbyggingu undirstrikar efnislega kosti þess.Almennt er nýtingarhlutfall flatra miða aðeins 30% til 50%, en nýtingarhlutfall pípulaga snúningsmarka getur náð yfir 80%.Þar að auki, þegar snúningshola rörið Magnetron sputtering markið er notað, þar sem markið getur snúist um fasta segulsamstæðuna allan tímann, verður engin endurútsetning á yfirborði þess, þannig að líf snúningsmarkmiðsins er yfirleitt meira en 5 sinnum lengur en markmið flugvélarinnar.
3. Skiptið út fyrir nýjan sputteringsbúnað
Lykillinn að því að bæta nýtingarhlutfall markefna er að ljúka við að skipta um sputtering búnað.Í sputtering ferli mólýbden sputtering markefnis, mun um það bil einn sjötti af sputtering atómunum setjast á lofttæmishólfsvegginn eða krappi eftir að hafa orðið fyrir höggi af vetnisjónum, sem eykur kostnað við að þrífa tómarúmsbúnaðinn og eykur niðurtíma.Svo að skipta um nýjan sputtering búnað getur einnig hjálpað til við að bæta nýtingarhlutfall sputtering mólýbdenmarkmiða.
Birtingartími: maí-24-2023