Sem stendur eru næstum öll háþróuð, ofurhreint málmkoparmarkmið sem krafist er af IC-iðnaði, einokuð af nokkrum stórum erlendum fjölþjóðlegum fyrirtækjum.Öll öfgahrein koparmarkmið sem innlendur IC iðnaður þarf að flytja inn, sem er ekki aðeins dýrt, heldur einnig flókið í innflutningsaðferðum. Þess vegna þarf Kína brýn að bæta þróun og sannprófun á öfgafullum hreinleika (6N) koparspúttunarmarkmiðum .Við skulum kíkja á lykilatriði og erfiðleika í þróun 6N koparspúttunarmarkmiða með ofurhreinleika.
1、Þróun á ofurhreint efni
Hreinsunartæknin á háhreinum Cu, Al og Ta málma í Kína er langt frá því í þróuðum iðnaðarlöndum.Sem stendur geta flestir af háhreinu málmunum sem hægt er að útvega ekki uppfyllt gæðakröfur samþættra hringrása fyrir sputtering markmið í samræmi við hefðbundnar greiningaraðferðir allra frumefna í greininni.Fjöldi innifalinna í markinu er of hár eða ójafnt dreift.Agnir myndast oft á skífunni við sputtering, sem leiðir til skammhlaups eða opinnar samtengingar, sem hefur alvarleg áhrif á frammistöðu kvikmyndarinnar.
2、Þróun á koparsputtering mark undirbúningstækni
Þróun á koparsputtering mark undirbúningstækni beinist aðallega að þremur þáttum: kornastærð, stefnumótunarstýringu og einsleitni.Hálfleiðaraiðnaðurinn hefur ýtrustu kröfur til að sputtera skotmörk og gufa upp hráefni.Það hefur mjög strangar kröfur um eftirlit með yfirborðskornastærð og kristalstefnu marksins.Kornastærð marksins verður að vera stjórnað við 100μ M fyrir neðan eru því eftirlit með kornastærð og aðferðir við fylgnigreiningu og greiningu mjög mikilvægar fyrir þróun málmmarka.
3、Þróun greiningar ogprófun tækni
Mikill hreinleiki marksins þýðir að draga úr óhreinindum.Áður fyrr var inductively coupled plasma (ICP) og atómgleypnigreining notuð til að ákvarða óhreinindi, en á undanförnum árum hefur glóðarútskriftargæðagreining (GDMS) með hærra næmni smám saman verið notuð sem staðall aðferð.Leifarþolshlutfall RRR aðferðin er aðallega notuð til að ákvarða rafmagnshreinleika.Ákvörðunarregla þess er að meta hreinleika grunnmálms með því að mæla hversu rafræn dreifing óhreininda er.Vegna þess að það á að mæla viðnámið við stofuhita og mjög lágt hitastig er einfalt að taka töluna.Á undanförnum árum, til að kanna kjarna málma, hafa rannsóknir á ofurháum hreinleika verið mjög virkar.Í þessu tilviki er RRR gildi besta leiðin til að meta hreinleikann.
Pósttími: maí-06-2022