Eiginleikar sputtering skotmarka af háum hreinleika úr áli

Á undanförnum árum, með framvindu samþættrar hringrásar (IC) tækni, hafa tengdar umsóknir samþættra hringrása verið þróaðar hratt.Ofurhreint sputteringsmarkmið úr áli, sem stuðningsefni við framleiðslu á samþættum hringrásarmálmtengingum, hefur orðið heitt umræðuefni í nýlegum innlendum rannsóknum.ritstjóri RSM mun sýna okkur einkenni háhreinsar sputtering skotmarks úr áli.

Til þess að bæta enn frekar sputtering skilvirkni segulóms sputtering miða og tryggja gæði afhentra kvikmynda, sýnir mikill fjöldi tilrauna að það eru ákveðnar kröfur um samsetningu, örbyggingu og kornstefnu öfgahreinsar sputteringsmarkmiðs úr áli.

Kornastærð og kornastærð marksins hefur mikil áhrif á undirbúning og eiginleika IC kvikmynda.Niðurstöðurnar sýna að útfellingarhraði minnkar með aukningu kornastærðar;Fyrir sputtering markið með sömu samsetningu er sputtering hlutfall marksins með litla kornastærð hraðar en skotmarksins með stóra kornastærð;Því einsleitari sem kornastærð marksins er, því jafnari er þykktardreifingin á útfelldum filmum.

Undir sömu sputtering tækinu og ferli breytum, eykst sputtering hlutfall Al Cu málmblöndumarkmiðsins með aukningu atómþéttleika, en það er almennt stöðugt á bilinu.Áhrif kornastærðar á sputtering hraða eru vegna breytinga á atómþéttleika með breytingu á kornastærð;Útfellingarhraði er aðallega fyrir áhrifum af kornastefnu Al Cu málmblöndunnar.Á grundvelli þess að tryggja hlutfall (200) kristalplana mun hækkun hlutfalls (111), (220) og (311) kristalplana auka útfellingarhraðann.

Kornastærð og kornastýring á álmarkmiðum með ofurhreinleika er aðallega stillt og stjórnað með einsleitni hleifa, heitvinnslu og endurkristöllunarglæðingu.Með þróun oblátustærðar í 20,32 cm (8 tommu) og 30,48 cm (12 tommu) eykst markstærðin einnig, sem setur fram meiri kröfur um háhreinleika sputteringsmarkmiða úr áli.Til að tryggja kvikmyndagæði og ávöxtun verður að hafa strangt eftirlit með markvinnslubreytunum til að gera markörbygginguna einsleita og kornstefnan verður að hafa sterka (200) og (220) plana áferð.