Eins og við vitum öll er þróunarstefna markefnistækni nátengd þróunarþróun kvikmyndatækni í eftirfylgni umsóknariðnaðarins.Með tæknilegum endurbótum á filmuvörum eða íhlutum í notkunariðnaðinum ætti marktæknin einnig að breytast.Til dæmis hafa Ic-framleiðendur nýlega einbeitt sér að þróun koparlagna með lágviðnám, sem gert er ráð fyrir að muni verulega koma í stað upprunalegu álfilmunnar á næstu árum, þannig að þróun koparmarkmiða og nauðsynleg hindrunarmarkmið þeirra verður brýn.
Að auki, á undanförnum árum, hefur flatskjár (FPD) að mestu komið í stað bakskautsgeislarörs (CRT) sem byggir á tölvuskjá og sjónvarpsmarkaði.Það mun einnig auka tæknilega og markaðseftirspurn eftir ITO markmiðum til muna.Og svo er það geymslutæknin.Eftirspurnin eftir harða diska með mikilli þéttleika og stórum afkastagetu og eyðilegum diskum með miklum þéttleika heldur áfram að aukast.Allt þetta hefur leitt til breytinga á eftirspurn eftir markefnum í notkunariðnaðinum.Hér á eftir munum við kynna helstu notkunarsvið markmiða og þróunarþróun markmiða á þessum sviðum.
1. Öreindatækni
Í öllum notkunariðnaði hefur hálfleiðaraiðnaðurinn ströngustu gæðakröfur fyrir sputtering filmur.Nú hafa verið framleiddar kísildiskar af 12 tommu (300 blóðnasir).Breidd samtengingarinnar fer minnkandi.Kröfur framleiðenda kísilskúffu fyrir markefni eru í stórum stíl, hár hreinleiki, lítil aðskilnaður og fínkorn, sem krefst þess að markefnin hafi betri örbyggingu.Þvermál kristalla agna og einsleitni markefnisins hafa verið talin lykilþættirnir sem hafa áhrif á útfellingarhraða kvikmyndarinnar.
Í samanburði við ál hefur kopar hærri rafhreyfanleikaviðnám og lægri viðnám, sem getur uppfyllt kröfur leiðaratækni í undirmíkron raflögn undir 0,25um, en það hefur önnur vandamál í för með sér: lágan viðloðunstyrk milli kopars og lífrænna miðlungsefna.Þar að auki er auðvelt að bregðast við, sem leiðir til tæringar á kopartengingu og rafrásarbrots meðan á notkun flíssins stendur.Til að leysa þetta vandamál ætti að setja hindrunarlag á milli koparsins og rafstraumslagsins.
Markefnin sem notuð eru í hindrunarlagi kopartengingar eru Ta, W, TaSi, WSi, osfrv. En Ta og W eru eldfastir málmar.Það er tiltölulega erfitt í gerð og málmblöndur eins og mólýbden og króm eru rannsakaðar sem önnur efni.
2. Fyrir skjáinn
Flatskjár (FPD) hefur haft mikil áhrif á bakskautsgeislarör (CRT) tölvuskjá og sjónvarpsmarkað í gegnum árin og mun einnig knýja tæknina og markaðseftirspurnina eftir ITO markefni.Það eru tvær tegundir af ITO markmiðum í dag.Önnur er að nota nanómetra ástand indíumoxíðs og tinoxíðdufts eftir sintun, hitt er að nota indíum tin álfelgur.Hægt er að búa til ITO filmu með DC hvarfgjarnri sputtering á indíum-tin álmarkmiði, en markyfirborðið mun oxast og hafa áhrif á sputtering hraða, og það er erfitt að fá stóra málmblöndu.
Nú á dögum er fyrsta aðferðin almennt notuð til að framleiða ITO markefni, sem er sputtering húðun með segulómsputtering viðbrögðum.Það hefur hraðan útfellingarhraða.Hægt er að stjórna filmuþykktinni nákvæmlega, leiðni er mikil, samkvæmni filmunnar er góð og viðloðun undirlagsins er sterk.En markefnið er erfitt að búa til, vegna þess að indíumoxíð og tinoxíð herðast ekki auðveldlega saman.Almennt eru ZrO2, Bi2O3 og CeO valin sem hertuaukefni og hægt er að fá markefnið með þéttleika 93% ~ 98% af fræðilegu gildi.Frammistaða ITO kvikmynda sem myndast á þennan hátt hefur mikil tengsl við aukefnin.
Lokunarviðnám ITO filmu sem fæst með því að nota slíkt markefni nær 8,1 × 10n-cm, sem er nálægt viðnám hreinnar ITO filmu.Stærð FPD og leiðandi glers er nokkuð stór og breidd leiðandi glers getur jafnvel náð 3133 mm.Til að bæta nýtingu markefna eru ITO markefni með mismunandi lögun, eins og sívalur lögun, þróuð.Árið 2000 settu landsskipulagsnefndin og vísinda- og tækniráðuneytið ITO stór markmið í leiðbeiningar um lykilsvið upplýsingaiðnaðar sem nú er forgangsraðað fyrir þróun.
3. Geymslunotkun
Hvað varðar geymslutækni, krefst þróun harðra diska með miklum þéttleika og stórum afkastagetu fjölda risastórra tregðu filmuefna.CoF~Cu fjöllaga samsett kvikmynd er mikið notuð uppbygging risastórrar tregðufilmu.TbFeCo álefnið sem þarf fyrir segulskífuna er enn í frekari þróun.Segulskífan sem framleidd er með TbFeCo hefur eiginleika stórrar geymslugetu, langrar endingartíma og endurtekinnar snertingarlausrar eyðingar.
Antímon germaníum tellúríð byggt fasabreytingaminni (PCM) sýndi verulegan viðskiptamöguleika, verður hluti NOR flassminni og DRAM markaðssetja aðra geymslutækni, hins vegar, í útfærslu hraðar minnkað ein af áskorunum á leiðinni til að vera til er skortur á að endurstilla núverandi framleiðslu er hægt að lækka frekar alveg lokað eining.Að draga úr endurstillingarstraumi dregur úr orkunotkun minni, lengir endingu rafhlöðunnar og bætir bandbreidd gagna, allt mikilvægur eiginleiki í gagnamiðuðum, mjög flytjanlegum neytendatækjum nútímans.
Pósttími: 09-09-2022