Eins og við vitum öll eru margar forskriftir fyrir sputtering skotmörk og notkunarsvið þeirra eru líka mjög breitt.Tegundir skotmarka sem almennt eru notaðar á mismunandi sviðum eru einnig mismunandi.Í dag skulum við fræðast um flokkun sputtering target umsóknareita með ritstjóra RSM!
1、 Skilgreining á sputtering markmiði
Sputtering er ein helsta tæknin til að útbúa þunnfilmuefni.Það notar jónirnar sem jónagjafinn framleiðir til að hraða og safnast saman í lofttæmi til að mynda háhraða jóna geisla, sprengja fasta yfirborðið og jónirnar skiptast á hreyfiorku við atómin á föstu yfirborðinu, þannig að atómin á fasta yfirborðinu yfirborðið er aðskilið frá föstu efninu og sett á yfirborð undirlagsins.Fastefnið sem sprengt var á er hráefnið til að undirbúa þunnu filmuna sem sett er út með sputtering, sem er kallað sputtering target.
2、 Flokkun á sputtering target umsóknareitum
1. Hálfleiðaramarkmið
(1) Algeng markmið: algeng markmið á þessu sviði eru málmar með hábræðslumarki eins og tantal / kopar / títan / ál / gull / nikkel.
(2) Notkun: aðallega notað sem lykilhráefni fyrir samþættar hringrásir.
(3) Frammistöðukröfur: miklar tæknilegar kröfur um hreinleika, stærð, samþættingu osfrv.
2. Markmið fyrir flatskjá
(1) Algeng markmið: algeng markmið á þessu sviði eru ál / kopar / mólýbden / nikkel / níóbíum / sílikon / króm osfrv.
(2) Notkun: Þessi tegund af skotmarki er aðallega notað fyrir ýmsar gerðir stórra kvikmynda eins og sjónvörp og fartölvur.
(3) Frammistöðukröfur: miklar kröfur um hreinleika, stórt svæði, einsleitni osfrv.
3. Markefni fyrir sólarsellu
(1) Algeng skotmörk: ál / kopar / mólýbden / króm /ITO/Ta og önnur skotmörk fyrir sólarsellur.
(2) Notkun: aðallega notað í „gluggalag“, hindrunarlag, rafskaut og leiðandi filmu.
(3) Frammistöðukröfur: miklar tæknilegar kröfur og breitt notkunarsvið.
4. Markmið fyrir geymslu upplýsinga
(1) Algeng markmið: algeng markmið fyrir kóbalt / nikkel / járnblendi / króm / tellúr / selen og önnur efni til upplýsingageymslu.
(2) Notkun: Þessi tegund af markefni er aðallega notað fyrir segulhöfuð, miðlag og botnlag sjóndrifs og sjóndisks.
(3) Kröfur um afkastagetu: Mikill geymsluþéttleiki og hár sendingarhraði eru nauðsynlegar.
5. Markmið fyrir breytingar á verkfærum
(1) Algeng markmið: algeng markmið eins og títan / sirkon / króm álblöndu breytt með verkfærum.
(2) Notkun: venjulega notað til að styrkja yfirborð.
(3) Frammistöðukröfur: miklar afkastakröfur og langur endingartími.
6. Markmið fyrir rafeindatæki
(1) Algeng skotmörk: algeng ál-/kísilmarkmið fyrir rafeindatæki
(2) Tilgangur: almennt notað fyrir þunnfilmuviðnám og þétta.
(3) Frammistöðukröfur: lítil stærð, stöðugleiki, lágt viðnám hitastigsstuðull
Birtingartími: 27. júlí 2022