Tækniráðgjafi RSM mun deila með þér kostum sívalninga og flatra segulróna sputtering skotmarka?Samanborið við önnur segulsviðssputteringsmarkmið, halda sívalur og planar segulómsputteringsmarkmiðum kostum góðrar einsleitni húðunar á rétthyrndum planum markmiðum og geta hámarkað nýtingu skotmarka með eftirfarandi tveimur leiðum:
(1) Þegar tveir hópar (fjórir) hringlaga hola á yfirborði skotmarksins ná ákveðnu dýpi, er hægt að snúa markkjarnanum (segulhlutanum) 45 ° miðað við markrörið, þannig að önnur svæði á markrörinu sem ekki hafa verið tærð má nota;
(2) Þegar markkjarni sívalur og flatrar segulómspúttunarmarkmiðsins er hannaður sem snúningsmarkskjarni (markskjarninn snýst við sputtering) er hægt að sputtera yfirborði marksins jafnt af lag fyrir lag án gryfja.Á þessum tíma verður markið notað á skilvirkasta hátt og nýtingarhlutfall marksins getur náð 50% ~ 60% Þegar markefnið er góðmálmur er þetta augljóslega mikilvægt.
Með því að nota meginregluna um segul með skautskó í kóaxískum sívalur segulsviðssputtermiði til að leysa vandamálið með enda segulsviði, er hægt að umbreyta rétthyrndu plansmarkmiðinu í sívalt og flatt segulómsputteringsmarkmið, Markmiðið getur hámarkað nýtingarhraða marksins. á meðan haldið er góðri einsleitni húðunar á rétthyrndu flugmarkinu til að bæta efnahagslegan ávinning.
Pósttími: 04-04-2022